项目名称：ISO6半导体模块化洁净室
设备面积：16 ㎡
设备内部净空高度：2.4 m
设备洁净度：ISO6 (千级)
甲方行业：半导体

项目特点：

1.模块化结构设计，紧凑高效：
整体尺寸为4米×4米，高度2.4米，采用模块化结构，便于运输和快速安装。框架为高强度铝合金型材，搭配保温隔热的夹芯墙板，边角圆弧处理，既提升安全性，又减少灰尘积聚，确保洁净易维护。


2.配套风淋室，洁净进出防污染：
风淋室支持红外感应自动启动，喷嘴风速达18–22 m/s，风淋时间可调。双门互锁防止交叉污染，内设应急按钮，异常情况可一键停止，保障使用安全。

3.智能控制系统，洁净状态实时监测：
外部配置控制面板，可控制FFU风机和照明系统，操作简便。差压表用于监测洁净室内外压差，确保维持正压状态，保障内部洁净稳定。

4.RFU搭配空调，保障洁净与温湿稳定：
顶部配置RFU，持续提供洁净气流，确保ISO 6等级。系统搭配空调使用，实现温湿度稳定控制，满足半导体工艺对环境洁净度与气候条件的双重要求。

5.钢化玻璃视窗，便于观察作业状态：
洁净室设有双层钢化玻璃观察窗，在保障密封性的同时方便外部人员观察室内运行情况，无需频繁开门，减少污染风险。

6.配电插座预设，满足工艺设备接入：
内部设置多个电源插座，满足洁净区内设备运行需求，支持日常测试、检测及工艺操作，布线整洁、安全可靠。