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成功案例

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半导体制造公司FFU案例

公司概况:
半导体制造公司,该公司生产高性能集成电路(IC)芯片,产品广泛应用于智能手机、计算机、汽车电子和其他高科技设备中。为了满足快速增长的市场需求,公司决定扩建其生产设施,并计划新建一座洁净室,洁净度标准达到 ISO 5 级别(Class 100),这意味着每立方米空气中最大允许有 100 个大于 0.5 微米的颗粒。
珠海半导体制造公司FFU案例

项目简介:
半导体制造过程对空气中的微粒要求极其严格,因为任何污染物都会影响芯片的良品率和性能。公司不仅需要高度洁净的环境,还面临能源效率、温湿度控制等问题。同时,随着芯片制程的不断缩小(比如从 10nm 向 7nm 甚至 5nm 技术节点的过渡),洁净度要求变得更高,空气流动的稳定性也至关重要。

解决方案:
为了满足这些要求,该公司决定采用FFU模块化系统,来替代传统的集中式空气处理设备 (AHU)。FFU的主要优势是能够灵活安装在洁净室天花板上,通过局部控制气流,提供高效、稳定的空气过滤。

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产品中心

模块化洁净室(洁净棚)

AK-light Modular Cleanroom

模块化洁净室(洁净棚)

模块化洁净室(洁净棚)

AK-castle Modular Cleanroom

模块化洁净室(洁净棚)

软帘模块化洁净室(洁净棚)

AK-wave Modular Cleanroom

软帘模块化洁净室(洁净棚)

层流罩

Laminar Hood

层流罩

(EFU)FFU风机过滤单元

Fan Filter Unit

(EFU)FFU风机过滤单元

负压称量室

Negative Pressure Dispensing Booth

负压称量室

洁净工作台

Clean Bench

洁净工作台

风淋室

Air Shower

风淋室

货淋室

Goods Shower

货淋室

风淋传递窗

Air Shower Pass Box

风淋传递窗

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