洁净室是空气悬浮粒子浓度受控的房间，Class10,000(即ISO 7 )洁净室是指房间空气中颗粒物浓度符合ISO14644-1标准定义的房间。

Class10,000洁净室的洁净度标准

ISO14644-1洁净区空气悬浮粒子的标准：


从上表中可以看出，Class10,000(即ISO 7 )洁净室房间每立方米空气中：
粒径≥0.5μm的颗粒物，数量不得超过352000个；
粒径≥1.0μm的颗粒物，数量不得超过83200个；
粒径≥5.0μm的颗粒物，数量不得超过2930个；
Class10,000(即ISO 7 )洁净室对于粒径0.5μm以下的颗粒物，没有做规定限制，因为这种粒径的颗粒物对Class10,000洁净室中的工艺生产活动影响较小。