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洁净车间常遇到的三大问题以及解决方法

2021-07-26
洁净车间也算是属于净化车间的一种,洁净车间有它的特殊性,其生产厂房的特点非常鲜明。随着半导体工艺技术的发展,集成电路生产对于洁净车间的洁净度要求越来越高,下面跟冠航科技一起了解一下。

洁净车间的第一大难题|高空作业

由于集成电路、TFT-LCD厂房的层高普遍较高,施工的难度非常大,对施工过程的安全保障也提出了更高要求。由于这类厂房的洁净区通常在整栋厂房的第二层,在施工过程中,我们采取分层作业的施工方式,先对洁净区的地板层进行施工,然后以地板层为界面,分为上、下两个层面进行施工,并在下夹层满铺安全网以确保快装模块化洁净室施工人员的人身安全。

洁净车间的第二大难题|大面积精度控制

随着产业的发展,洁净区面积越来越大,地面精度控制要求也越来越高。我们的做法是配置专业的测量人员,设置一条十字基准线作为基准源,建立覆盖全厂房的基准线体系。在施工过程中,用激光扫平仪进行安装高度的调整,并用经纬仪进行不间断复测,从而在大面积的洁净车间内把精度控制在要求范围之内。

洁净车间的第三大难题|全过程洁净施工控制

洁净车间相对其他厂房一个最大的特点就是洁净的管控,洁净管控从建厂一开始到最后是全过程的控制,只有通过全过程的控制才能保证建造出来的厂房是符合要求的。一般情况下,洁净车间施工是根据快装模块化洁净室的装修作为控制的主线来考虑的。整个厂房封闭以后快装模块化洁净室施工才能开始,如果没有封闭的话,也要采用临时封闭的办法,保证封闭施工作业。

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